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利用3D飞秒激光纳米光刻技术制备晶体纳米结构

作者: 来源: 日期:2019/1/21 21:37:39 人气:1679

YAG(钇铝石榴石)晶体中的亚波长衍射光栅和MOW(微结构光波导)。a)在可见光照射下,长度为厘米级、间距为700nm光栅的图像。b)实验并计算了波长为1070nm的亚波长光栅(间距为700nm)的绝对衍射效率。计算公式为衍射功率除以入射到嵌入光栅的功率。Error bars图对应于~0.07%的实验标准偏差。插图:制作的光栅的扫描电子显微镜(SEM)特写图像。c)六边形结构的光波导,水平孔距500nm,平均孔径166nmx386nm,长4mm。d)波长为1550nm、862nm(垂直)和972nm(水平)的半峰全宽(full-width at half maximum,FWHM)处的模拟强度模式。e)1550nm处测量的波导输出模式的衍射受限近场图像,FWHM约为~1.5m。(图片来源:Nature Photonics)

据麦姆斯咨询报道,材料的光学特性由其化学性质和固有的亚波长结构决定,尽管后者仍有待深入表征。光子晶体和超材料已经证明了这一点,它们通过表面的改变可提供一种全新的超越材料已知自然光学特性的光操控。然而,在过去30年的研究中,现有的技术方法已无法可靠地在材料表面以外的纳米结构硬脆光学晶体中进行深入的光学表征和相关应用。

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